금속층을 포함한 3상 형성이 가능한 하이브리드 코팅 장치

하나의 장치 내에서 다층의 코팅막을 형성할 수 있으며, 특히 금속 고유막을 형성할 수 있는 하이브리드 코팅 장치에 대하여 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드 코팅 장치는 내부에 밀폐공간 또는 진공공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 상측 또는 하측의 중앙 영역에 수직축을 기준으로 회전 가능하게 장착되며, 코팅막이 형성될 기판을 고정하는 지지대; 상기 챔버 측면에 형성되어, 각각 정해진 유효 각도로 기상의 코팅물질을 제공하는 복수의 코팅 소스;를 포함하여, 상기 지지대가 회전하면서 상기 기판에 다층의 코팅막이 형성되도록 하되, 상기 지지대의 중심을 기준으로, 하나의 코팅 소스와 다른 하나의 코팅 소스가 함께 제공되는 중첩 범위가 5~35°인 것을 특징으로 한다.