Leitungsverbindung an Vakuumkammer

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verbinden von Leitungen an trennbaren Vakuumkammerelementen. In Betracht kommen vorrangig wartungs- und montagebedingt mehrteilig ausgefuhrte Vakuumkammern, wie beispielsweise solche in Dunnfilm-Beschichtungsanlagen zur Glasbeschichtung. Die Erfindung beruht auf einer Leitungsverbindung als Steckeinheit (5), die zwei Steckelemente (8, 9) mit jeweils mindestens einen darauf befestigten Steckverbinder (11, 12) und mindestens ein Justierelement (10) als Justiermittel umfasst, wobei – in Steckrichtung – zusammengefuhrte Steckelemente (8, 9) die Steckverbinder (11, 12) paarweise jeweils eine Leitung verbinden sowie richtungsentgegen trennen, und mittels Justierelement (10) im Zusammenfuhren der Steckelemente (8, 9) diese zunachst zueinander positioniert und anschliesend zueinander formschlussig gehalten werden, wozu das mechanisch stabile Justierelement (10) an mindestens einem Ende verjungt und wie die Steckverbinder (11, 12) ausgerichtet ist. Kennzeichnend fur die Erfindung ist, dass eine derartige Verbindung an Vakuumkammern (1) im Trennbereich von Vakuumkammerelementen (2, 3) verwendet ist, dass die Steckrichtung der Deckelverschlussrichtung (17) beim Zusammenfuhren der Vakuumkammerelemente (2, 3) gleicht und dass verbindende Halteelemente (6, 7) jeweils zwischen Vakuumkammerelementen (2, 3) und Steckelementen (8, 9) vorgesehen sind.