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Acemap > Paper > 薄膜金属ガラスCu‐Zr‐Tiを用いた二軸駆動マイクロミラーデバイスの製作と駆動

薄膜金属ガラスCu‐Zr‐Tiを用いた二軸駆動マイクロミラーデバイスの製作と駆動

2014 
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