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DRIEによる高アスペクト比三角柱-スリット形電極(TPSE)の製作に関する研究
DRIEによる高アスペクト比三角柱-スリット形電極(TPSE)の製作に関する研究
2016
misaki simizu
kokusyou nisioka
akihiro matutani
kazuhiro yosida
syun kan kin
Keywords:
Deep reactive-ion etching
Optoelectronics
Microelectromechanical systems
Fabrication
Materials science
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