Capteur d'onde acoustique de surface

2004 
L'invention concerne un capteur d'onde acoustique de surface servant a detecter ou a determiner quantitativement une matiere de l'objet detecte, par la mesure de la variation de frequence due a la charge massique. Le capteur comprend un element d'onde acoustique de surface et un film reactif, forme sur cet element et qui presente une sensibilite accrue grâce a la structure amelioree de l'element. Ledit capteur (1) utilise une onde acoustique de surface du type SH et comprend un substrat LiTaO3 coupe dans l'axe de rotation Y et qui presente un angle d'Euler de (0°, 0° a 18°, 0°?5°) ou de (0°, 58° a 180°, 0°?5°), une electrode (3) d'excitation d'onde de surface formee sur le substrat (2) LiTaO3 et qui contient Au comme constituant principal, et un film reactif (4) forme sur le substrat LiTaO3 de maniere a couvrir l'electrode (3) et pouvant se lier a la matiere a detecter ou a une matiere de liaison se liant a celle-ci. L'epaisseur du film normalisee par rapport a la longueur d'onde de l'electrode (3) interdigitee est comprise entre 0,8 et 9,5 %.
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