Systemes et procedes pour un dispositif d'inspection de plaquettes utilisant des angles multiples et un eclairage a longueur d'onde multiple

L'invention concerne un procede permettant de detecter une anomalie sur la surface superieure (426) d'un substrat (428), qui consiste a diriger un premier faisceau de rayonnement (414) ayant une premiere longueur d'onde a la surface superieure (426) du substrat (428) selon un premier angle mesure a partir de la normale, et a diriger un second faisceau de rayonnement (418) ayant une seconde longueur d'onde a la surface superieure (426) du substrat (428) selon un second angle mesure a partir de la normale, la seconde longueur d'onde n'etant pas egale a la premiere longueur d'onde. Le procede consiste ensuite a detecter un rayonnement diffuse a partir du premier faisceau de rayonnement (414) et du second faisceau de rayonnement (418) pour detecter la presence de particules ou de particules d'origine cristalline, COP, et pour les differencier. Les differences au niveau du rayonnement diffuse detecte a partir du premier faisceau de rayonnement (414) et du second faisceau de rayonnement (418) fournissent les donnees necessaires pour differencier entre les particules et les COP.