Leak detection device

本发明公开了一种漏液侦测装置，应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测，包括：一中转箱，所述中转箱套设于所述管道外，且所述中转箱的底部设有开孔；设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管，所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口；以及，设置于所述套管外部的传感器。 本发明采用在中转箱底部的管路中设置一具导气功能的支管，从而有效避免了漏液进入管路时形成的气封现象，漏液侦测准确度高，且工艺简单方便，实用性强。