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ALD와 PEALD 공정에서의 파티클 형성과 박막 특성 비교
ALD와 PEALD 공정에서의 파티클 형성과 박막 특성 비교
2013
Go-Ru Gang
Jin-Tae Kim
Deok-Jun Cha
Ju-Yeong Yun
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