텐덤형 플라즈마소스를 이용한 과불화탄소 분해용 플라즈마 장치

텐덤형 플라즈마소스를 이용한 과불화탄소 분해용 플라즈마 장치가 개시된다. 본 발명은 과불화탄소가 유입되는 입구와 배출되는 출구가 상,하부에 각기 형성되고, 내부에 통로가 형성된 챔버와, 상기 챔버의 외주에 형성되는 페라이트 코어와, 상기 페라이트 코어의 일측과 챔버둘레에 형성된 안테나로 구성된 반응기; 상기 챔버의 내부에 과불화탄소를 분해하는 분해가스를 공급하는 가스공급부; 상기 반응기의 페라이트 코어와 챔버둘레에 연결된 안테나에 전원을 공급하는 제너레이터;를 포함하는 것으로, 상기 페라이트 코어에 연결된 안테나에 전원이 공급되어 변압기 결합 플라즈마(TCP)가 발생하며 전기장은 직선방향으로 유도되고, 상기 챔버 둘레에 형성된 안테나에 전원이 공급되어 발생된 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 유도 전기장은 챔버 둘레의 회전방향으로 형성되도록 하는 것이다. 이에 따르면, 페라이트 코어(Ferrite Core)를 이용한 변압기 결합 플라즈마(TCP)와 유도 결합 플라즈마 소스(ICP Source)를 직렬로 연결한 텐덤(Tandem)형 소스를 이용함으로써 직선 + 회전 유도 전기장에서 전자의 운동 궤적을 증가시켜 과불화탄소 분해 효율을 높일 수 있어 기존 플라즈마 방식에서 사용되던 ICP, AP 플라즈마 방식의 한계점을 극복할 수 있는 효과가 있다.