VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEHRZAHL VON LASERDIODEN UND LASERDIODE

2019 
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Laserdioden (1) angegeben mit folgenden Verfahrensschritten:- Bereitstellen einer Mehrzahl von Laserbarren (2) im Verbund (20), wobei die Laserbarren (2) jeweils eine Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Laserdiodenelementen (3) umfassen, und die Laserdiodenelemente (3) ein gemeinsames Substrat (4) und jeweils eine auf dem Substrat (4) angeordnete Halbleiterschichtenfolge (5) aufweisen, und wobei eine Zerteilung des Verbunds (20) an jeweils einer zwischen zwei benachbarten Laserbarren verlaufenden Langstrennlinie (y-y') zu einer Ausbildung von Laserfacetten (1C) der herzustellenden Laserdioden (1) fuhrt,- Strukturierung des Verbunds (20) an zumindest einer Langstrennlinie (y-y'), wobei an der Langstrennlinie (y-y') eine verspannte Ausgleichsschicht (8) auf die Halbleiterschichtenfolge (5) aufgebracht und/oder die Halbleiterschichtenfolge (5) zumindest teilweise entfernt wird.Des Weiteren wird eine Laserdiode (1) angegeben, die mit dem Verfahren herstellbar ist.
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