Étude et modélisation de microactionneurs intégrés sur silicium

Le travail presente dans cette these concerne l'etude, la modelisation et la realisation de moteurs electriques, de taille micrometrique, usines sur du silicium. La premiere partie est consacree a l'etude comparative des performances des actionneurs de type electrique et de type magnetique en fonction de leurs dimensions. Des resultats numeriques, permettent d'etablir l'interet des moteurs de type electrique pour les tres petites dimensions (entrefer de 1 a 5 micrometres). Enfin, les principes de fonctionnement des moteurs de type electrique, a capacites variables, sont exposes. La deuxieme partie est consacree a l'elaboration d'un modele numerique du comportement statique de ces moteurs. Ce modele, base sur le calcul numerique du champ electrique, permet d'analyser plusieurs structures de moteurs et de degager quelques regles de conceptions. La troisieme partie concerne la mise au point d'un modele dynamique de micromoteurs a capacite variable. Ce modele, tenant compte des frottements secs et visqueux dans la structure, permet de determiner les performances dynamiques de deux types de micromoteurs. Dans la quatrieme partie, nous decrivons la methode de fabrication utilisee pour la realisation d'un prototype ainsi que les tests pratiques effectues