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Acemap > Paper > 1118 マグネトロンスパッタ法による(Pb,La)(Zr,Sn,Ti)O_3薄膜の作製及び組成比による特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)

1118 マグネトロンスパッタ法による(Pb,La)(Zr,Sn,Ti)O_3薄膜の作製及び組成比による特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)

2005 
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