Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Представлены результаты анализа свойств фоточувствительных материалов с нелинейной экспозиционной характеристикой. Показано, что существует ряд фото(термо)чувствительных ма-териалов, позволяющих регистрировать изображения, размеры которых меньше диаметра экспонирующего луча. Представлены результаты лазерной записи на неорганических фоторезистах. Ил.: 3. Библиогр.: 21 наим.