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전자빔 증착법에 의한 Indium Tin Oxide박막의 증착속도에 따른 광학적 물성변화
전자빔 증착법에 의한 Indium Tin Oxide박막의 증착속도에 따른 광학적 물성변화
2012
오규진
김선필
김은규
Keywords:
Indium
Indium tin oxide
Inorganic chemistry
Tin
Materials science
glancing angle deposition
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