합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치

기판의 합착시 기판이 안착된 어느 하나의 스테이지가 소정의 각도로 기울어지더라도 이에 대응하는 스테이지의 평탄도가 자동으로 보정되도록 함으로써 스테이지의 평탄도 일치에 따른 기판의 균일한 가압력이 이루어지도록 하여 기판의 합착공정에 따른 수율 향상 및 제품의 품질을 향상시키는 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치에 관한 것으로, 베이스와; 상기 베이스의 상측에 구비되며, 기판이 안착되는 하부스테이지와; 상기 베이스 상에 안착된 상태로 상기 하부스테이지 중심에 결합되며, 상기 하부스테이지를 승강시키면서 수평방향의 전후좌우로 자유회동시키는 회동유닛; 및 상기 회동유닛을 중심으로 소정간격 이격되게 상기 베이스 상에 방사상으로 안착되어 상기 하부스테이지와 결합되며, 상기 하부스테이지의 자유회동에 따라 승강하면서 상기 하부스테이지의 회동된 상태를 유지시키는 복수개의 사이드고정유닛;을 포함하여 구성된다.