Mesure de module d’Young d’un film mince à partir de mesures expérimentales de nanoindentation réalisées sur des systèmes multicouches

La nanoindentation est une technique de caracterisation bien adaptee pour determiner les proprietes mecaniques des couches minces. Cependant, pour des couches d’epaisseur de quelques centaines de nanometres, le substrat et les couches sous-jacentes sont sollicites et les mesures ne sont pas reliees de facon simple aux proprietes du film mince. Le present travail est une extension du modele analytique de Bec et al. dans le cas d’un film mince depose sur un systeme multicouche. Des resultats experimentaux obtenus par nanoindentation d’un empilement de couches de materiaux possedant des modules d’Young notablement differents (echantillon multicouche Au/Ti/SiO 2 depose sur un substrat de Si monocristallin), sont analyses par cette methode. Le module d’Young calcule pour l’or avec le modele multicouche est de 81 GPa, ce qui est en accord avec la litterature ( E Au  = 80 GPa). Les resultats montrent que le modele developpe est approprie pour determiner le module d’Young d’une couche mince deposee sur un systeme multicouche.