Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
構造制御形固定砥粒研磨パッドの開発 : 加工特性の向上に関する検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
構造制御形固定砥粒研磨パッドの開発 : 加工特性の向上に関する検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
2008
tutomu fuzita
tosiyuki enomoto
sigeru tominaga
makoto suzuki
Keywords:
Lapping
Polishing
Chemical-mechanical planarization
Materials science
Metallurgy
optical glass
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]