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多重アークイオンめっきにより蒸着したAl‐Ti‐N膜の微細構造と性質に及ぼす負バイアス電圧の影響【Powered by NICT】
多重アークイオンめっきにより蒸着したAl‐Ti‐N膜の微細構造と性質に及ぼす負バイアス電圧の影響【Powered by NICT】
2017
Cai Fei
Chen Mohan
Li Mingxi
Zhang Shihong
Keywords:
Composite material
Metallurgy
Materials science
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