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大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 : 第2報,0.1nm分解能と25mm広域走査の両立(機械力学,計測,自動制御)
大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 : 第2報,0.1nm分解能と25mm広域走査の両立(機械力学,計測,自動制御)
2006
takesi murayama
yuuiti kunitomo
takasi morimoto
sumio hosaka
Keywords:
Nanotechnology
Atomic force microscopy
Wafer
Materials science
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