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Acemap > Paper > 1859 MEMSマイクロミラーの強度に及ぼすエッチングダメージの影響(J09-4 有限要素解析と強度信頼性評価,J09 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)

1859 MEMSマイクロミラーの強度に及ぼすエッチングダメージの影響(J09-4 有限要素解析と強度信頼性評価,J09 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)

2005 
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