Measuring device and measuring method for measuring optical properties of transparent layer substrates

Der Erfindung, die eine Messeinrichtung zur Messung optischer Schichteigenschaften eines transparenten Substrates, umfassend eine Messflache, an der das Substrat bei der Messung anliegt, einen auf einer Seite der Messflache angeordneten Messkopf mit einem Empfangselement zur Erfassung einer auf einer optischen Empfangsachse einfallenden Strahlung und ein Sendemittel zum Aussenden einer Strahlung auf einer optischen Sendeachse, wobei auf der dem Messkopf abgewandten Seite der Messflache ein erstes Reflexionsmittel angeordnet ist, wobei die von dem ersten Reflexionsmittel reflektierte Strahlung von dem Empfangselement detektierbar ist, liegt ua die Aufgabe zugrunde, die Dunkelstromuberwachung zu verbessern und eine simultane Messung der Reflexion und Transmission zu ermoglichen. Die wird dadurch gelost, dass die Messeinrichtung ein Unterbrechungsmittel zum zeitweisen Unterbrechen der durch das Substrat transmittierten Strahlung des ersten Reflexionsmittels umfasst.