Manufacturing apparatus of the cleaned polycrystalline silicon chunk crushed, and was using the manufacturing apparatus, a manufacturing method of the cleaned polycrystalline silicon chunk crushed

【課題】 多結晶シリコン塊の破砕後、混入する金属微粉やシリコン微粉等の微粉を、気流の吹き付けにより効率的に除去できる製造装置を提供すること【解決手段】 ａ）好適には搬送ベルトが網目状である、多結晶シリコン塊破砕物の搬送ベルトコンベア、ｂ）上記搬送ベルトコンベアの搬送ベルトの走路面の上方に設けられた、前記多結晶シリコン塊破砕物に同伴する微粉の吹飛用気流噴射器、及びｃ）該網目状搬送ベルトの走路面と、その上方に設けられた微粉の吹飛用気流噴射器との間に介設された、多結晶シリコン塊破砕物の飛躍防止用網を備えてなる、清浄化された多結晶シリコン塊破砕物の製造装置。 【選択図】 図１