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MOCVD法によるHf 0.8 Al 0.2 O y 成膜速度の影響
MOCVD法によるHf 0.8 Al 0.2 O y 成膜速度の影響
2003
Yamaguchi Masaomi
Sakoda Tsunehisa
Minakata Hiroshi
Sugiyama Yoshihiro
Keywords:
Information retrieval
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Engineering
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