ワイヤグリッド偏光子の製造方法、ワイヤグリッド偏光子、及び光学装置

【課題】ワイヤグリッドの間隔が微小であるワイヤグリッド偏光子を簡便に製造することが可能な、ワイヤグリッド偏光子の製造方法等を提供する。 【解決手段】上面に酸化防止層１３２を備える複数の導電体層１４１が互いに略平行となるように石英基板１１表面にそれぞれ凸状に形成され、導電体層１４１を含めて凹凸面が形成された積層体を形成する工程と、導電体層１４１の凸状の幅方向両端部を酸化し、一定幅の酸化皮膜１４２と、酸化皮膜１４２に狭持される未酸化部としての第１帯状導電体層１４３とを形成する第１帯状導電体層形成工程と、凹凸面の凹部に導電性材料を充填し、第１帯状導電体層１４３に略平行な第２帯状導電体層１５１を形成する第２帯状導電体層形成工程と、を有することを特徴とするワイヤグリッド偏光子１００の製造方法。 【選択図】図１