Structural properties of Pb(Mg1/3Nb2/3)0.90Ti1.10O3 films deposited by pulsed laser ablation on titanium nitride subtrates

Se depositan peliculas policristalinas de Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 ) 0.90 Ti 0.10 O 3 (PMNT) por la tecnica de ablacion por laser pulsado sobre electrodos de TiN que, a su vez, son crecidas por erosion ionica en DC sobre sustratos de Si. La formacion de la fase perovskita del PMNT es confirmada por analisis de difraccion de rayos X. La morfologia de las peliculas es analizada por microscopia electronica de barrido. La naturaleza de la interfaz entre la capa ferroelectrica y el electrodo es estudiada por microscopia electronica de transmision. Asi mismo, se estudian los efectos de las propiedades de dicha interfaz en el desempeno del sistema de multicapas. Las caracteristicas de las peliculas de TiN, usadas como electrodos, son evaluadas mediante espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. Finalmente, se propone un modelo para el sistema PMNT/TiN/SiO 2 /Si de peliculas delgadas aqui descrito.