Hard-coated bodies and methods for producing hard-material-coated body

Die Erfindung betrifft hartstoffbeschichtete Korper aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik mit einer SiC-Hartstoffschicht oder mit einem Schichtsystem, das mindestens eine SiC-Hartstoffschicht enthalt, sowie Verfahren zur Herstellung derartig hartstoffbeschichteter Korper. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, derartige Korper mit SiC-Hartstoffschichten auszustatten, die eine partikelfreie, nichtporose Struktur, eine hohe Harte, niedrige Sprodigkeit, hohe Haftfestigkeit, gute Oxidationsbestandigkeit und einen hohen Widerstand gegen Rissausbreitung besitzen. Erfindungsgemas sind die Korper mit einer SiC-Hartstoffschicht oder mit einem mehrlagigen Schichtsystem beschichtet, das mindestens eine SiC-Hartstoffschicht enthalt, wobei die SiC-Hartstoffschicht aus halogenhaltigem nanokristallinem 3C-SiC oder aus einer Mischschicht besteht, welche aus halogenhaltigem nanokristallinem 3C-SiC und amorphem SiC oder aus halogenhaltigem nanokristallinem 3C-SiC und amorphem Kohlenstoff besteht. Die Beschichtung derartiger Korper wird in einem thermischen CVD-Prozess durchgefuhrt, wobei eine Gasmischung verwendet wird, die H 2 und/oder ein oder mehrere Inertgase, ein oder mehrere der Halogenpolysilane der Formeln Si n X 2n , Si n X 2n+2 , Si n X y H z , worin X das Halogen und n ≧ 2 ist, sowie einen oder mehrere Kohlenwasserstoffe enthalt. Alternativ wird eine Gasmischung verwendet, die in H 2 und/oder einem oder mehreren Inertgasen ein oder mehrere, mit organischen ...