強誘電体材料、強誘電体薄膜、強誘電体材料の製造方法および強誘電体素子

2010 
【課題】 強誘電特性が良好で、絶縁性の良い強誘電体材料及びそれを用いた強誘電体素子を提供す る。 【解決手段】本発明ではペロブスカイト結晶構造を有する金属酸化物よりなる強誘電体材料であって、前記金属酸化物は、鉄がマンガンで置換された鉄酸ビスマスと、銅酸化物および/またはニッケル酸化物を含有し、前記鉄酸ビスマスのマンガンの置換量は、鉄およびマンガンの合計量に対して0.5at.%以上20at.%以下であり、かつ銅酸化物および/またはニッケル酸化物の添加量が、鉄がマンガンで置換された鉄酸ビスマスに対して0.5モル%以上20モル%以下である強誘電体材料及びそれを用いた強誘電体素子を提供する。 【選択図】図1
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