At an indirect cooler adjusted target

Die Erfindung betrifft ein Target, welches als Materialquelle fur ein Abscheideverfahren aus der Gasphase ausgebildet ist mit einer Vorderseite und einer Ruckseite, das dadurch gekennzeichnet ist, dass an der Ruckseite eine selbstklebende Karbonfolie aufgeklebt ist. Das Target kann als Materialquelle fur ein Sputtering-Verfahren und/oder fur ein Funkenverdampfungs-verfahren ausgebildet sein. Besonders vorteilhaft wird das Target in einer Beschichtungsquelle mit indirekter Kuhlung eingesetzt, wobei die die selbstklebende Karbonfolie flachig in Kontakt mit einer Membrane steht welche Teil eines Kuhlkanals ist.