Compensation de la birefringence dans un objectif a lentilles en cristal

2002 
La presente invention concerne un objectif (1), notamment un objectif de projection destine a une installation d'eclairage de projection microlithographique. Cet objectif comprend un premier groupe (3) de lentilles (7) ou de parties de lentille constituees d'un premier materiau a base de cristal et au moins un second groupe (5) de lentilles (11) ou de parties de lentille constituees d'un second materiau a base de cristal. Un rayon d'ouverture exterieur (15) connait dans le premier groupe (3) une premiere divergence de trajectoire optique pour deux etats de polarisation lineaires orthogonaux l'un par rapport a l'autre et connait dans le second groupe une seconde divergence de trajectoire optique. De par les differents materiaux a base de cristal, les deux divergences de trajectoire optiques se compensent approximativement. On obtient notamment ceci avec du fluorure de calcium en tant que premier materiau a base de cristal et avec du fluorure de baryum en tant que second materiau a base de cristal.
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