직접적인 온도 측정수단을 구비한 단결정 성장 장치 및 이를 이용한 단결정 성장 방법

본원 발명은 온도제어의 정확도를 향상시킬 수 있는 단결정 성장 장치 및 이를 이용한 단결정의 성장 방법에 대한 것으로 보다 구체적으로는 단결정 성장용 원료가 투입되는 도가니; 상기 도가니를 감싸면서 가열하는 가열수단; 상기 도가니의 온도를 측정할 수 있는 제 1 온도 측정수단; 상기 도가니 상부에 구비되고 선단에 단결정의 시드(seed)가 고정되는 단결정 인상수단; 및 상기 단결정 인상수단의 길이 방향 축을 따라 내부에 구비되며 선단의 단결정 시드 및 단결정 인상수단의 축 방향 온도 구배를 측정할 수 있는 제 2 온도 측정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치 및 상기 온도 측정수단을 이용한 온도 모니터링 결과와 단결정 성장 장치의 파워 제어장치를 연동하여 실시간으로 용융물의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법에 대한 것이다. 본원 발명에 따른 단결정 성장장치는 결정 성장용 원료의 표면온도와 단결정 성장 장치 내부의 온도를 정확히 측정하고 단결정 성장 장치의 파워 제어장치와 연동하여 실시간으로 용융물의 온도를 제어할 수 있는 장점이 있어 작업자간 경험 및 숙련도의 차이로 인한 단결정의 품질의 편차를 줄일 수 있으므로 단결정 생산의 효율성을 향상시킬 수 있다.