ELEMENTS DE CRISTAUX DE FLUORURE OPTIQUES UV POUR UNE LITHOGRAPHIE LASER λ<200NM ET PROCEDES ASSOCIES

L'invention concerne des niveaux d'impuretes de plomb sous-ppm, dans un cristal de fluorure de calcium optique (20) transmettant moins de 200 nm, pouvant etre detectes par le biais d'un spectrophotometre (22) presentant une source de lumiere (24) pour produire une longueur d'onde d'essai de transmission comprise dans une plage de 200 a 210 nm et un detecteur de transmission (28) permettant de mesurer la transmission de la longueur d'onde d'essai, transmettant la longueur d'onde d'essai de transmission a travers le cristal (20), le long de sa longueur de trajectoire de transmission de lumiere de cristal (21), et de mesurer la transmission de la longueur d'onde d'essai a travers la longueur de trajectoire pour obtenir une mesure de niveau d'impuretes ppb de plomb, de preference inferieure a 500 ppb. Ces cristaux de fluorure optiques a contamination de plomb ultra faible peuvent etre fabriques.