露光方法、露光システムの管理方法、露光システム、及びデバイス製造方法

【課題】複数の露光装置間でフレアの状態が異なっている場合に、そのフレアの影響を抑制して、複数の露光装置間のパターンの形成状態のマッチング等を効率的に行う。 【解決手段】複数の露光装置３２Ａ，３２Ｂを用いて、レチクルＲ１，Ｒ２のパターンをウエハＷ１上に露光する露光方法において、露光装置３２Ａ，３２Ｂそれぞれのフレア量を計測する工程と、そのフレア量を比較する工程と、そのフレア量に基づいて露光装置３２Ａ，３２Ｂそれぞれの光学的近接効果特性を予測する工程と、最もフレア量が少ない露光装置の光学的近接効果特性に対して、他の露光装置の光学的近接効果特性を調整する工程とを含む。 【選択図】図１