Modulateur multifaisceau pour faisceau de particules et utilisation de ce modulateur pour texturer un substrat sans masque

L'invention concerne un modulateur multifaisceau qui genere plusieurs faisceaux individuels a partir d'un faisceau de particules. Ce faisceau de particules eclaire le modulateur multifaisceau au moins partiellement en nappe. Le modulateur multifaisceau selon l'invention comprend plusieurs groupes d'ouvertures constitues de groupes de lignes d'ouvertures, la totalite des lignes d'ouvertures formant une matrice de m x n cellules. M cellules forment ainsi une ligne et k ouvertures sont formees dans chaque ligne. La densite des ouvertures est repartie de facon inegale a l'interieur d'une ligne.