Measuring method and measuring system for measuring the birefringence

Bei einem Messverfahren zur Messung der Doppelbrechung eines optischen Messobjekts wird ein auf das Messobjekt gerichteter Messstrahl mit einem definierten Eingangspolarisationszustand erzeugt und es werden Polarisationseigenschaften des Messstrahls nach Wechselwirkung mit dem Messobjekt erfasst, um Polarisationsmesswerte zu erzeugen, die einen Ausgangspolarisationszustand des Messstrahls nach Wechselwirkung mit dem Messobjekt reprasentieren. Der Eingangspolarisationszustand des Messstrahls wird in mindestens vier unterschiedliche Messzustande gemas einer periodischen Modulationsfunktion eines Winkelparameters α moduliert, und die zu den mindestens vier Messzustanden gehorenden Polarisationsmesswerte werden zu einer vom Winkelparameter α abhangigen Messfunktion verarbeitet. Zur Auswertung der Polarisationsmesswerte wird ein zweiwelliger Anteil der Messfunktion ermittelt. Dieser zweiwellige Anteil wird zur Ableitung mindestens eines die Doppelbrechung beschreibenden Doppelbrechungsparameters analysiert. Hierzu wird vorzugsweise eine doppelte Fourier-Transformation der Messfunktion durchgefuhrt.