529 ダマシン銅配線の局所界面強度と結晶粒分布との相関評価の試み(OS8-2 ナノスケールフロンティアにおける材料と構造の新たな強度信頼評価手法の開拓2,OS8 ナノスケールフロンティアにおける材料と構造の新たな強度信頼評価手法の開拓)