Procede et appareil de transport de substrats en feuilles minces

Lorsqu'un substrat S en feuille mince doit etre transfere entre une chambre de transfert (2) munie d'un appareil de traitement (1) et maintenu dans une atmosphere de gaz inerte en utilisant un robot de transfert (30) muni d'une chambre de reception (3) pouvant recevoir le substrat S en feuille mince dans une atmosphere de gaz inerte. On interpose une chambre de liaison (4) entre la chambre de reception (3) et la chambre de transfert (2) au moment du transfert du substrat S en feuille mince entre la chambre de reception (3) du robot de transfert (30) et la chambre de transfert (2) montee sur le cote de l'appareil de traitement (1). On fait alors le vide, puis on introduit le gaz inerte. On ouvre ensuite les robinets d'arret GV1 et GV2 de la chambre de transfert (2), puis le substrat S en feuille mince est transfere a l'interieur, puis il en ressort.