멤브레인공정을 이용한 반도체 및 태양전지용 웨이퍼 폐슬러리중 절삭액의 고효율 재생방법 및 재생시스템

본 발명은 멤브레인공정을 이용한 반도체 및 태양전지용 웨이퍼 제조시 발생되는 폐슬러리중 절삭액의 고효율 재생방법 및 재생시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 및 태양전지용 실리콘 잉곳(Ingot)형태의 웨이퍼 소재 절단시 발생되는 폐슬러리중 절삭액의 재생처리과정에 있어, 우선, 고속원심분리과정을 이용하여 1차적으로 1~2um이상의 입자를 제거한후, 어떠한 첨가제(물 또는 화학약품) 투입없이 여과막 재생공정이 포함된 고효율 여과공정을 이용하여, 거대입자가 제거된 여액인 폐절삭유중 미세입자를 효과적이고 안정적으로 분리시킨다. 더불어 절삭액재생시, 여과공정내 수분제어&제거공정을 포함시키고, 차후 고도탈수공정을 적용시킴으로써, 재생효율 향상과 더불어 재생 절삭액의 순도를 증가시킬 수 있는 폐슬러리중 절삭액의 고효율 재생방법 및 재생시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 종래 폐슬러지중 절삭액 정제방법과 비교하여, 어떠한 첨가제(물 또는 용매 포함)이 첨가되지 않으며, 고점도 및 고농도에 적합하고 내구성이 강한 멤브레인을 적용함으로써, 고순도 재생절삭액의 안정적인 공급과 재생슬러지의 사용기간을 연장시킬 수 있다. 이로 인해 태양전지용 웨이퍼 제조공정에서 사용되는 신품절삭액의 감소효과와 더불어 재생절삭액의 재사용은 기존 특수산업폐기물인 폐 슬러지의 발생량 감소뿐만 아니라 처리비용도 감소시켜 태양전지용 웨이퍼 제조원가를 낮출 수 있는 효과를 준다