Procédé de traitement de polarisation, dispositif de polarisation sous plasma, corps piézo-électrique ainsi que son procédé de fabrication, dispositif de formation de film, dispositif de gravure, et dispositif de recuit de lampe

2011 
L'invention fournit un dispositif de polarisation sous plasma destine a effectuer aisement un traitement de polarisation selon une technique par voie seche. Ce dispositif de polarisation sous plasma est muni : d'une electrode de maintien (4) qui est disposee a l'interieur d'une chambre de polarisation (1), et dans laquelle est maintenue un materiau de base a polariser (2); d'une electrode opposee (7) qui est disposee a l'interieur de ladite chambre de polarisation, et en opposition audit materiau de base a polariser maintenu par ladite electrode de maintien; d'une alimentation electrique (6) electriquement connectee a l'une desdites electrodes de maintien ou opposee; d'un mecanisme d'alimentation en gaz qui alimente en gaz de formation de plasma un espace entre lesdites electrodes de maintien et opposee; et d'une unite de commande qui commande ladite alimentation electrique et ledit mecanisme d'alimentation en gaz. Ladite unite de commande est caracteristique en ce qu'elle commande ladite alimentation electrique et ledit mecanisme d'alimentation en gaz de maniere a former un plasma en une position opposee audit materiau de base a polariser pour effectuer un traitement de polarisation sur ce dernier.
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