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Acemap > Paper > 28p-S-7 低速電子線衝撃により生成した窒素プラズマを用いたシリコンの低温窒化の機構

28p-S-7 低速電子線衝撃により生成した窒素プラズマを用いたシリコンの低温窒化の機構

1999 
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