Cibles de pulvérisation de lithium
2012
L'invention concerne des procedes de fabrication de cibles de pulverisation de lithium, des cibles de pulverisation de lithium, un appareil de manipulation associe, et des procedes de pulverisation comprenant des cibles de lithium. Divers modes de realisation concernent l'adhesion de la cible de metal lithium a une structure support, en evitant et/ou en retirant les revetements de passivation formes sur la cible de lithium, l'uniformite de la cible de lithium ainsi que le refroidissement efficace du lithium pendant la pulverisation. Elle concerne des configurations de cible utilisees pour compenser les inegalites dans le plasma de pulverisation. Elle concerne des carreaux de lithium de format modulaire et des procedes de fabrication. Elle concerne egalement des cibles de pulverisation de lithium rotatives.
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