掺Fe^3＋TiO2薄膜型氧气传感器研究

讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理，重点分析了掺铁对氧敏特性的影响。设计出了基于TiO2薄膜结构氧气传感器，通过硅工艺制作了Fe^3＋掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试。实验结果表明，该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应，且具有低电阻的特性。