Source optique ultraviolette évolutive à l'échelle d'une puce

L'invention concerne une source laser ultraviolette a l'echelle d'une puce qui comprend une pluralite d'elements laser sur un substrat comprenant chacun un miroir de cavite arriere, un milieu amplificateur evase, un coupleur de sortie, un cristal non lineaire couple au coupleur de sortie a l'aide d'une facette avant qui presente un premier revetement qui est anti-reflechissant (AR) a une longueur d'onde fondamentale de l'element laser et qui est hautement reflechissante (HR) aux longueurs d'onde ultraviolettes, et a une facette de sortie qui a un second revetement qui est HR a une longueur d'onde fondamentale de l'element laser et AR aux longueurs d'onde ultraviolettes, un photodetecteur couple au coupleur de sortie, un modulateur de phase couple au photodetecteur et couple au miroir de cavite arriere, et une diode laser maitresse sur le substrat couplee au modulateur de phase de chaque element laser. Chaque element laser emet un petit faisceau ultraviolet et est verrouille en frequence et en phase par rapport a la diode laser maitresse.