プラズマ処理室用構造物、プラズマ処理室、及びプラズマ処理装置

【課題】電位を制御することができると共に、プラズマ処理室の構造を簡素化することができるプラズマ処理室用構造物を提供する。 【解決手段】プラズマ処理室用構造物としてのガス導入シャワーヘッド３４は、処理空間Ｓに露出する面を有する円板状の天井電極板３８と、該天井電極板３８を着脱可能に支持する電極支持体３９と、天井電極板３８及び電極支持体３９の間に介在し、プラズマ処理中において天井電極板３８を所定の温度に冷却する冷却板４７と、該冷却板４７及び天井電極板３８の間に介在する絶縁膜４８と、冷却板４７の処理空間Ｓ側表面に形成されたアルマイト被膜５１とを有し、天井電極板３８、冷却板４７及び電極支持体３９はいずれも導電性部材からなり、天井電極板３８は電気的に浮遊し、さらに、天井電極板３８にはＣＥＬ直流電源４９が電気的に接続されている。 【選択図】図２