Рентгеновские микроанализ частиц диоксида урана при низкой энергии электронов зонда

Представлены результаты элементного анализа различных по размерам фрагментов диоксида урана, выполненного с помощью растрового электронного микроскопа, оснащенного рентгеновским микроанализатором с дисперсией по энергиям (INCA x-act, “Oxford Instruments”, Великобритания). Расчет концентраций проведен с применением прилагаемой программы, использующей метод коррекции “XPP”. Показано, что для крупного фрагмента UO2 измеренные при разных ускоряющих напряжениях в диапазоне 6–20 кВ концентрации урана различаются незначительно (разброс не превышает ±2). Состав диоксида урана в частицах с размерами вплоть до 0.5 мкм при энергии зонда 6 кэВ может быть определен с погрешностью, характерной для массивных объектов.