BANC D'ETALONNAGE INTERFEROMETRIQUE DE CAPTEURS ELECTRIQUES DE MESURE DE DEPLACEMENT

LE BANC D'ETALONNAGE COMPORTE UNE PARTIE FIXE ET UNE PARTIE MOBILE. LE CORPS DU CAPTEUR, OBJET DE L'ETALONNAGE, EST SOLIDAIRE DE LA PARTIE FIXE. LA PARTIE MOBILE A UN MOUVEMENT DE TRANSLATION UNIFORME ALTERNATIF. ELLE PORTE L'UN DES MIROIRS D'UN INTERFEROMETRE DE MICHELSON ECLAIRE PAR UN FAISCEAU LASER A HELIUM NEON. LE COMPTAGE DES FRANGES D'INTERFERENCES QUI DEFILENT PERMET LA MESURE DU DEPLACEMENT. CETTE MESURE EST COMPAREE A L'INDICATION DU CAPTEUR ETUDIE. LA CAPACITE NOMINALE DU BANC EST DE 100 MM OU PLUS OU MOINS 50 MM ET LA PRECISION EST MEILLEURE QUE PLUS OU MOINS 5.10 PUISSANCE MOINS 4 DE L'ETENDUE DE MESURE CONTROLEE. LES VITESSES PEUVENT ETRE CHOISIES ENTRE 10 MICROMETRES/SEC ET 500 MICROMETRES/SEC. CETTE COMMUNICATION A ETE PRESENTEE A LA CONFERENCE CAPTEURS 84, PARIS, 5-7 JUIN 1984.