円盤状物の位置決め方法並びに、その方法を使用する円盤状物の位置決め装置、搬送装置および半導体製造設備

【課題】位置決め装置と搬送ロボットとを具える半導体製造装置における設備立ち上げ時の各ポートでの基準位置教示の時間短縮を目的とする。 【解決手段】ウエハ等の円盤状物４７の円周と検出手段の軌跡４３とが交わる２点Ｗ１、Ｗ２を検出し、この２点とこれらを結ぶ線分の垂直二等分線４２上の特定点Ｏと円盤状物の半径ｒとを用いて円盤状物の中心位置Ａを算出する。これにより搬送ロボットに位置決め作業をさせ、その結果を用いて搬送経路の修正ばかりでなく設備立ち上げの際の基準位置教示も大部分自動化できた。ノッチがある場合は、円盤状物の円周を検出手段の２本の軌跡で検出し、正しい中心位置を見いだす。またノッチを有する半径未知の円盤状物では、その円周を検出手段の、共にノッチに掛からない距離だけ互いに離間した３本の軌跡で検出して半径を求めることで、直径の異なるウエハを用いる混合生産も可能となった。 【選択図】図４