情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体、および磁気ディスク装置

2010 
【課題】ガラス基板上の被クランプ部における欠陥の発生を抑制することが可能な情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 【解決手段】ガラスブランク材を準備し(S10)、ガラスブランク材を用いて略円形状のガラス基板を形成し(S20)、ガラス基板に対してラップ研磨処理を施し(S31)、ガラス基板に対してポリッシュ研磨処理を施し(S33,S34)、ガラス基板の主表面を洗浄することによってガラス基板上の複数の付着物を除去し(S40)、ガラス基板に化学強化処理を施す(S50)。1μm以下の大きさを有する付着物の数がガラス基板上の被クランプ部内において5個以下となるようにガラス基板は洗浄される。付着物の数は、ガラス基板の主表面上における被クランプ部に対して、2波長のレーザ光を異なる方向で照射し、それぞれの反射光に基づいて算出される値である。 【選択図】図5
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []