Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
COMSOL을 이용한 SHOWERHEAD 형상에 따른 증착률 및 균일도에 관한 연구
COMSOL을 이용한 SHOWERHEAD 형상에 따른 증착률 및 균일도에 관한 연구
2017
권동령
손황진
조영태
정윤교
Keywords:
Physics
Analytical chemistry
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]