計測方法、結像特性調整方法、露光方法及び露光装置の製造方法

(57)【要約】 【課題】 投影光学系の結像特性変化を補正するために 用いられる結像特性調整情報を短時間で取得する。 【解決手段】 レチクルＲ上の計測マークＰＭｙを照明 光ＩＬにより照明して計測マークの空間像を投影光学系 ＰＬを介して像面上に形成し、前記空間像に対してスリ ット２９を走査し、該走査中にスリットを介した照明光 を光電検出し、その検出結果として空間像に対応する光 強度信号を得る、空間像計測を投影光学系ＰＬの複数の 状態について、繰り返し行う。そして、得られた投影光 学系の状態毎の空間像の光強度信号に基づいて、投影光 学系の状態の変化量と特定の結像特性の変化量との関係 （結像特性補正情報）を算出する。従って、結像特性調 整情報を、露光、現像、レジスト像の計測等の工程を経 ることなく、短時間で取得できる。