無電解銅めっき液、無電解銅めっき方法、配線板の製造方法

(57)【要約】 【課題】 還元剤としてグリオキシル酸を用いた無電解 銅めっき液で、カニッツァーロ反応量が少なく、かつ、 めっき反応およびカニッツァーロ反応により無電解銅め っき液中に蓄積する塩の沈殿が起こりにくく、長期にわ たり安定に使用可能な無電解銅めっき液を提供する。 【解決手段】 銅イオン，銅イオンの錯化剤，銅イオン 還元剤，およびｐＨ調整剤を含む無電解銅めっき液にお いて、銅イオン還元剤がグリオキシル酸またはその塩で あり、ｐＨ調整剤が水酸化カリウムであり、さらに、前 記無電解銅めっき液中に０.０００１ｍｏｌ／Ｌ以上の メタ珪酸，メタ珪酸塩，二酸化ゲルマニウム，ゲルマニ ウム酸塩，りん酸，りん酸塩，バナジン酸，バナジン酸 塩，すず酸，すず酸塩のうち少なくとも１種を含む無電 解銅めっき液。